[发明专利]通过纳米线生长形成的单片高纵横比纳米尺寸扫描探针显微镜(SPM)尖端有效

专利信息
申请号: 200780008800.6 申请日: 2007-03-08
公开(公告)号: CN101438355A 公开(公告)日: 2009-05-20
发明(设计)人: G·M·科昂;H·F·哈曼 申请(专利权)人: 国际商业机器公司
主分类号: G12B21/00 分类号: G12B21/00
代理公司: 北京市中咨律师事务所 代理人: 于 静;杨晓光
地址: 美国*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 公开了一种扫描探针,其中通过从尖端的顶部部分生长外延纳米线来延伸微加工的锥体尖端。金属的颗粒例如金,可以终止所述纳米线以实现无孔径近场光学显微探针。
搜索关键词: 通过 纳米 生长 形成 单片 纵横 尺寸 扫描 探针 显微镜 spm 尖端
【主权项】:
1. 一种扫描探针,包括:悬臂梁;微加工的单晶锥体,形成在所述悬臂梁上;以及单晶纳米线,从所述锥体的所述顶部延伸,其中所述纳米线是关于所述单晶锥体外延的。
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