[发明专利]用于改进电子装置制造系统的操作的方法与设备有效
| 申请号： | 200780009117.4 | 申请日： | 2007-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101495925A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | S·拉乌;M·W·柯里;P·波西内夫;A·福克斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B13/04 | 分类号： | G05B13/04;G06F19/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 在本发明一方面中，提供一种用于改进一电子装置制造系统的操作的方法。该方法包括提供信息给耦合到一具有参数的电子装置制造系统的接口，其可处理该信息来预测一第一参数，并提供关联于该电子装置制造系统的至少一第二参数的一指令，其中该指令基于所预测的第一参数。并提供许多其它方面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 改进 电子 装置 制造 系统 操作 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包含：测量关于一生产电子装置制造系统的一参考电子装置制造系统的参考参数；使用该些测量的参考参数产生信息；以及分析该信息以预测该生产电子装置制造系统的至少一参数。
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