[发明专利]氧化锌系透明导体以及该透明导体形成用溅射靶有效
| 申请号： | 200780009585.1 | 申请日： | 2007-02-19 |
| 公开（公告）号： | CN101405427A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 生泽正克;矢作政隆 | 申请（专利权）人： | 日矿金属株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C04B35/453;C23C14/34;H01B5/14 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种氧化锌系透明导体，其特征在于，以氧化锌为主要成分，含有比氧化锌中锌的离子半径小、相对于氧化锌成为n型掺杂剂的元素1～10原子％和相对于该n型掺杂剂的原子数比(氮/n型掺杂剂)为0.3～0.6的氮。在开发不具有价格高且有资源枯竭的担心的原料In的透明导体时，目的在于显示超过以往单一掺杂法的开发方法极限且能实现共掺杂理论的具体方法的掺杂剂的选择基准，提供低电阻率透明导体。 | ||
| 搜索关键词： | 氧化锌 透明 导体 以及 形成 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种氧化锌系透明导体，其特征在于，以氧化锌为主要成分，含有比氧化锌中锌的离子半径小、相对于氧化锌成为n型掺杂剂的元素1～10原子％和相对于该n型掺杂剂的原子数比为0.3～0.6的氮，其中，所述原子数比即为氮/n型掺杂剂。
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