[发明专利]复合传感器及加速度传感器

摘要

本发明提供一种复合传感器和加速度传感器。在基板(2)的表面将第一振动件(4)设置成能在X轴方向振动。在第一振动件的内部将角速度检测用振动件(6)设置成能在Y轴方向变位。在基板与第一振动件间设置振动发生部(8)及振动监视部(20)。在基板与角速度检测用振动件间设置角速度检测用的变位检测部(11)。在第一振动件的外侧将第二振动件(15)设置成能在Y轴方向变位。在第一、第二振动件之间设置加速度检测用的变位检测部(17)。角速度检测电路(27)利用振动监视部的监视信号(Vm)，对变位检测部的变位检测信号(Vc)同步检波来检测角速度。加速度检测电路(31)利用振动监视部的监视信号，对变位检测部的变位检测信号(Va)同步检波来检测加速度。

主权项

1、一种复合传感器，具备：基板；第一支承部，其设置于该基板；第一振动件，其与所述基板具有间隙地对置配置；第一支承梁，其连接该第一振动件和第一支承部，在朝向由相互正交的X轴、Y轴、Z轴构成的三个轴方向中的X轴方向能够振动的状态下，对该第一振动件进行支承；角速度检测用振动件，其设置于所述第一振动件；角速度检测用支承梁，其连接该角速度检测用振动件和第一振动件，将该角速度检测用振动件支承为能够朝向Y轴方向或Z轴方向变位；振动发生单元，其使所述第一振动件在X轴方向振动；角速度检测用的变位检测单元，其在所述第一振动件向X轴方向振动的状态下，检测角速度检测用振动件向Y轴方向或Z轴方向变位时的变位量；第二支承部，其设置于所述基板；第二振动件，其与所述基板具有间隙地对置配置；第二支承梁，其连接该第二振动件和第二支承部，在能够朝向X轴方向或Y轴方向变位的状态下，对该第二振动件进行支承；加速度检测用的变位检测单元，其设置于所述第一、第二振动件之间，检测第二振动件在X轴方向或Y轴方向变位时的变位量；振动监视单元，其对所述第一振动件在X轴方向振动时的第一振动件的变位进行监视；和加速度检测单元，其利用该振动监视单元的监视信号，对所述加速度检测用的变位检测单元的变位检测信号进行同步检波，来检测对所述第二振动件作用的加速度。