[发明专利]测量工件的装置和方法有效
| 申请号： | 200780010102.X | 申请日： | 2007-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN101405564A | 公开（公告）日： | 2009-04-08 |
| 发明（设计）人： | 史蒂文·保罗·亨特;若弗雷·麦克法兰;凯维恩·巴里·乔纳斯;哈立德·马穆尔 | 申请（专利权）人： | 瑞尼斯豪公司 |
| 主分类号： | G01B21/04 | 分类号： | G01B21/04 |
| 代理公司： | 北京明和龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郁玉成;邵毓琴 |
| 地址： | 英国格*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 一种利用安装在扫描头部上的表面感测设备来测量表面的方法和装置，所述扫描头部位于坐标定位装置的构件上。所述坐标定位装置可以操作，以在扫描头部和所述表面轮廓之间产生相对运动，并且所述扫描头部包括驱动件，以使表面感测探针围绕一个或多个轴线转动。在所述表面感测设备将要跟踪的表面上限定所需测量轮廓，以及当表面感测设备沿所述测量轮廓运动时，限定所述表面感测设备的方位的希望运动。这些数据用来推算坐标定位装置的所述构件和所述表面之间相对运动的所需路径，以使所述表面感测设备指示沿着所述测量轮廓的轨迹。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 工件 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用安装在扫描头部上的表面感测设备来测量表面的方法，所述扫描头部位于坐标定位装置的构件上，其中，可以操作所述坐标定位装置，以在扫描头部和表面轮廓之间产生相对运动，并且所述扫描头部包括驱动件，用于使表面感测探针围绕一个或多个轴线转动，所述方法包括以下步骤：(a)在所述表面感测设备将要跟踪的表面上限定希望的测量轮廓；(b)当所述表面感测设备沿步骤(a)中的测量轮廓运动时，限定所述表面感测设备的方位的希望运动；(c)利用步骤(a)和(b)中确定的数据来推算坐标定位装置的所述构件和所述表面之间的相对运动的所需路径，以使所述表面感测设备指示沿着所述测量轮廓的轨迹。
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