[发明专利]电容器麦克风

摘要

本发明提供一种电容器麦克风，其中，利用简单的制造工艺改善了膜片的振动特性，并且减小了发生在膜片和背板之间的寄生电容，从而提高灵敏度。具体地，具有包括中心部和多个臂的齿轮状形状的膜片以及具有包括中心部和多个臂的齿轮状形状的背板在基板上方彼此相对布置，使得膜片的臂和背板的臂彼此不面对。另外，可以在基板上方彼此独立地支撑膜片和背板。而且，可以在膜片的中心部中形成多个孔，使得利用插入到孔中的多个支撑将背板支撑在基板上方。

主权项

1.一种电容器麦克风，包括：具有导电性的膜片，其包括中心部和多个以径向方式向外延伸的臂并且其由于声波而振动；具有导电性的背板，其位于所述膜片的对面；具有腔的基板，其位于所述背板的对面以便面对所述膜片；第一支持部，在所述基板上方支撑所述膜片而且使所述膜片的臂的末端与所述基板绝缘，从而在所述基板和所述膜片之间形成通道；以及第二支持部，其位于所述膜片的臂之间以便在所述基板上方支撑所述背板而且使所述背板的外周部与所述基板绝缘，从而形成所述膜片的中心部与所述背板之间的空隙，其中从所述背板的中心到其外端的距离比从所述膜片的中心部的中心到所述臂的末端的距离短。