[发明专利]压印方法和器件有效
| 申请号： | 200780010622.0 | 申请日： | 2007-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN101410323A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | 迈卡·J·阿特金 | 申请（专利权）人： | 迈克罗拉布私人有限公司 |
| 主分类号： | B81B1/00 | 分类号： | B81B1/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平 |
| 地址： | 澳大利亚*** | 国省代码： | 澳大利亚;AU |
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| 摘要： | 在基片S上形成压印结构P的方法包括：将多个压印工具段(32，40a，40b，40c，50，60，70，80，92)施加到基片的至少一个表面上。在基片S上形成压印结构P的装置(30，90)包括可单独地驱动、可多个成组协调地驱动、或上述两者相组合地驱动的多个压印工具段(32，40a，40b，40c，50，60，70，80，92)。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 方法 器件 | ||
【主权项】：
1.一种在基片上形成压印结构的方法，该方法包括：(i)将多个压印工具段施加到基片的至少一个表面上。
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