[发明专利]用于后CMP清洗工艺的改良碱性溶液无效
| 申请号： | 200780010918.2 | 申请日： | 2007-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101410503A | 公开（公告）日： | 2009-04-15 |
| 发明（设计）人： | M·费希尔 | 申请（专利权）人： | 乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司 |
| 主分类号： | C11D11/00 | 分类号： | C11D11/00;G03F7/42;H01L21/306;H05K3/26;C11D7/32;C11D7/06;C11D7/26;C11D7/34 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明提供了碱性后CMP清洗溶液，其含有：至少两种选自有机胺和/或季铵氢氧化物的碱性化合物，至少一种有机酸化合物，和能抑制原料腐蚀的抑制剂化合物。抑制剂化合物优选是巯基化合物。在一个实施方式中，清洗溶液含有至少两种有机胺，但基本不含季铵氢氧化物。清洗溶液优选具有约7-12的pH。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 cmp 清洗 工艺 改良 碱性 溶液 | ||
【主权项】：
1.一种清洗溶液，其含有：至少两种选自有机胺和季铵氢氧化物中的碱性化合物；至少一种有机酸化合物；和巯基化合物。
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