[发明专利]微结构化工具以及利用激光烧蚀制备微结构化工具的方法无效

专利信息
申请号: 200780010957.2 申请日: 2007-03-28
公开(公告)号: CN101410324A 公开(公告)日: 2009-04-15
发明(设计)人: 帕特里克·R·弗莱明;保罗·E·洪帕尔;托马斯·R·j·科里根;托德·R·威廉姆斯;塔德塞·G·尼加图 申请(专利权)人: 3M创新有限公司
主分类号: B81B7/00 分类号: B81B7/00;B81C1/00
代理公司: 北京天昊联合知识产权代理有限公司 代理人: 顾红霞;何胜勇
地址: 美国明*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 本文公开一种微结构化工具,所述微结构化工具具有:微结构化层,其包含聚合物并具有微结构化表面;镍层,其设置成在与微结构表面相对的一侧与微结构化层相邻;以及基底层,其设置成在与微结构化层相对的一侧与镍层相邻。微结构化表面可以有至少一个特征,该特征的最大深度最多高达约1000μm。本文还公开了使用激光烧蚀法来制造微结构化工具的方法。微结构化工具可以用于制造适用于光学应用的制品。
搜索关键词: 微结构 化工 以及 利用 激光 制备 方法
【主权项】:
1.一种微结构化工具,包括:微结构化层,其包含聚合物并具有微结构化表面,所述微结构化表面包括一个或多个特征;镍层,其含有镍,所述镍层设置成在与所述微结构化表面相对的一侧与所述微结构化层相邻;以及基底层,其含有金属、聚合物、陶瓷或玻璃,所述基底层设置成在与所述微结构化层相对的一侧与所述镍层相邻。
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