[发明专利]使用自对准相变材料层的相变存储器元件及其制造和使用方法有效
申请号: | 200780012027.0 | 申请日: | 2007-03-23 |
公开(公告)号: | CN101416326A | 公开(公告)日: | 2009-04-22 |
发明(设计)人: | 刘军 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供一种相变存储器元件及其形成方法。所述存储器元件包含支撑第一电极的衬底。绝缘材料元件位于所述第一电极上,且相变材料层形成于所述第一电极上,并且围绕所述绝缘材料元件,使得所述相变材料层具有与所述第一电极电连通的下表面。所述存储器元件还具有第二电极,其与所述相变材料层的上表面电连通。 | ||
搜索关键词: | 使用 对准 相变 材料 存储器 元件 及其 制造 使用方法 | ||
【主权项】:
1. 一种存储器元件,其包括:衬底,其支撑第一电极;绝缘材料元件,其位于所述第一电极上;相变材料层,其位于所述第一电极上且围绕所述绝缘材料元件,所述相变材料具有与所述第一电极电连通的下表面;以及第二电极,其与所述相变材料层的上表面电连通。
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