[发明专利]快速热处理基板的适应性性控制方法无效
| 申请号： | 200780012505.8 | 申请日： | 2007-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN101495847A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | J·M·瑞尼西;T·迪克西特;D·詹宁斯;B·拉马钱德兰;A·亨特;W·阿德霍尔德;B·亚当斯;W·T·张 | 申请（专利权）人： | 应用材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/06 | 分类号： | G01L9/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及快速热处理(RTP)基板的方法。本发明的实施例包括利用实时适应性控制算法或利用选自用于各种基板类型的固定控制算法系列的控制算法来控制热处理制造工艺。基于热处理期间测量的基板的光学特性来选择控制算法。在一实施例中，使用组合的控制算法，其中大部分的照灯群组受控于固定的控制算法，而实质上较少量的照灯区域受控于适应性控制算法。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 热处理 适应性 控制 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在一时间间隔期间控制位于处理室中的基板的温度的方法，其中所述基板包括至少一区域，所述方法至少包括：在所述时间间隔前，测量所述基板的各区域的温度；基于各区域于至少一先前时间间隔中的热行为来计算各区域在所述时间间隔时的即时加热速率；基于所述即时加热速率来确定各区域的输入功率，使各区域在所述时间间隔结束时达到期望温度；以及将用于各区域的所述输入功率施加至各对应的区域。
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