[发明专利]用于箔MEMS技术的层间连接无效
| 申请号： | 200780012854.X | 申请日： | 2007-04-04 |
| 公开（公告）号： | CN101421177A | 公开（公告）日： | 2009-04-29 |
| 发明（设计）人： | 格特·兰格雷斯;伊瓦尔·J·博伊尔里弗恩 | 申请（专利权）人： | NXP股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 朱进桂 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及在由已构图的柔性箔(10)的叠层构建的微系统中制造导电层间连接的方法。形成由焊接材料、溅射或蒸发材料构成或借助于构建柔性箔(10)的隔离层(30)的塑料材料的碳化的导电层间连接(210，300，400)，以连接已构图的导电层(40，50)，所述导电层(40，50)借助于至少一个隔离层(30)以导电的方式分离，以通过简单的方式互连微系统的不同部分。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 技术 连接 | ||
【主权项】：
1、一种在具有空隙的微系统中制造层间连接的方法，所述方法包括以下步骤：设置至少两个电绝缘柔性箔(10)的组(S)，其中单个柔性箔(10)包括相同的箔材料，并且其中导电层(20)位于至少两个柔性箔(10)的至少一侧，并且其中所述导电层(20)适合于用作电极或导体；对所述导电层(20)进行构图，以形成电极或导体；以至少形成一个开口的方式，对至少一个柔性箔(10)进行构图；堆叠所述柔性箔(10)的组(S)；将所述柔性箔(10)连接在一起；在至少两个已构图的导电层(40，50)之间设置导电层间连接(210，300，400)，所述已构图的导电层(40，50)通过所述柔性箔(10)的至少一个隔离层(30)分离。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于NXP股份有限公司，未经NXP股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780012854.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
