[发明专利]压电/电致伸缩膜型元件无效
| 申请号： | 200780014505.1 | 申请日： | 2007-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN101427393A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 大西孝生;清水秀树;恒冈克幸 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/08;H01L41/187;H01L41/193;H02N2/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张敬强 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的压电/电致伸缩膜型元件(10)具备基板(11)、下部电极(12)、压电/电致伸缩膜(15)以及上部电极(16)。基板(11)具备薄壁隔膜部(11a)和形成于其周围的厚壁部(11b)。下部电极(12)以横跨薄壁隔膜部(11a)和厚壁部(11b)的方式形成于基板(11)之上。压电/电致伸缩膜(15)形成于下部电极(12)之上。上部电极(16)以与薄壁隔膜部(11a)相对的方式形成于压电/电致伸缩膜(15)之上。该上部电极(16)具备上部电极主体部(16a)和连接部(16b)。上部电极主体部(16a)形成为与薄壁隔膜部(11a)的平面形状大致相似的平面形状。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 伸缩 元件 | ||
【主权项】：
1. 一种压电/电致伸缩膜型元件，其特征在于，具备：基板，其具备薄壁隔膜部和形成于其周围的厚壁部；下部电极，其以横跨上述薄壁隔膜部和上述厚壁部的方式形成于上述基板之上；压电/电致伸缩膜，其形成于上述下部电极之上；以及，上部电极，其具备形成为与上述薄壁隔膜部的平面形状大致相似的平面形状且以与上述薄壁隔膜部相对的方式设置于上述压电/电致伸缩膜之上的上部电极主体部、以与该上部电极主体部连接的方式设置在上述压电/电致伸缩膜之上且形成为比上述上部电极主体部更窄的宽度的连接部。
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