[发明专利]排气系统无效
| 申请号： | 200780014950.8 | 申请日： | 2007-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN101542019A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 池田毅;小泉一夫;武田浩之;小山哲男;渡部惠一 | 申请（专利权）人： | 三菱电线工业株式会社;大阪螺旋管工业株式会社;史班逊股份有限公司;日本史班逊股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/00 | 分类号： | C23F1/00;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁 挥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种排气系统，包括：排气压力控制器，该排气压力控制器插设到排气通道中并包括：管体，该管体包括侧周壁，其中形成至少一个端口；和气体导入壁，用于导入从管体上游侧流过来的排放气体，以使排放气体流到下游而不与所述端口及其附近处直接接触，气体导入壁的一个面连同侧周壁的内部面一起形成压力控制路径，而气体导入壁的另一个面形成排气路径，排放气体沿着该排气路径流动。所述端口与压力控制路径连通，并且压力控制路径与排气路径连通于所述端口的下游的部分。 | ||
| 搜索关键词： | 排气 系统 | ||
【主权项】：
1、一种排气系统，包括：排气压力控制器，所述排气压力控制器插设到排气通道中并包括：管体，所述管体包括侧周壁，在所述侧周壁中形成至少一个端口；和气体导入壁，用于导入从所述管体上游侧流过来的排放气体，以使排放气体流到下游而不与所述端口及其附近处直接接触，所述气体导入壁的一个面连同所述侧周壁的内部面一起形成压力控制路径，而所述气体导入壁的另一个面形成排气路径，排放气体沿所述排气路径流动，其中，所述端口与所述压力控制路径连通，并且所述压力控制路径与所述排气路径连通于所述端口的下游的部分。
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