[发明专利]含聚醚胺的抛光组合物有效
| 申请号： | 200780015036.5 | 申请日： | 2007-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN101432384A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | 杰弗里·戴萨德;保罗·菲尼;斯里拉姆·安朱尔;蒂莫西·约翰斯;辛云表;王力 | 申请（专利权）人： | 卡伯特微电子公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 宋 莉 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的化学机械抛光系统包含抛光组分、液体载体及聚醚胺。本发明的方法包括用上述抛光系统来化学机械抛光基板。 | ||
| 搜索关键词： | 含聚醚胺 抛光 组合 | ||
【主权项】：
1.一种用于抛光基板的化学机械抛光系统，其包含：(a)选自抛光垫、研磨剂及其组合的抛光组分，(b)液体载体，及(c)选自以下的化合物：(1)式(I)的化合物：![]()
其中x＝2～6，(2)式(II)的化合物：![]()
其中x+y＝2～4且y＝1～50，以及(3)式(I)化合物和式(II)化合物的组合。
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