[发明专利]用于检查基板的表面的测量装置和测量方法无效
| 申请号： | 200780015618.3 | 申请日： | 2007-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN101432628A | 公开（公告）日： | 2009-05-13 |
| 发明（设计）人： | H·克劳斯曼;K·克拉格勒;M·纽瑟 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | G01R1/07 | 分类号： | G01R1/07;G01R31/302;G09G3/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 曹 若;梁 冰 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 提出一种用于检查基板(140)的表面(141)的测量装置(100)。测量装置(100)具有保持元件(110)和空气支承的元件(120，220)，该空气支承的元件安装在保持元件(110)上，并且这样构造，使得它可以与要检查的基板(140)的表面(141)一起构成空气支承，并且所述空气支承的元件具有弹性，从而空气支承的元件(120，220)可以匹配表面(141)的不平度。测量装置(110)此外具有至少一个传感器(130，230)，其安装在空气支承的元件(120，220)上，并且设置用于检测基板(140)的表面(141)。由于空气支承的元件(120，220)的弹性，所述至少一个传感器(130，230)即使在要检测的表面(141)具有波浪度的情况下也能够以到表面(141)的预定的测量距离运动。此外描述了一种用于表面检查的测量方法，其中所述的测量装置(100)相对表面(141)移动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检查 表面 测量 装置 测量方法 | ||
【主权项】：
1. 用于检查基板(140)的表面(141)的测量装置，该测量装置具有：●保持元件(110)●空气支承的元件(120，220)，该空气支承的元件安装在所述保持元件(110)上，并且所述空气支承的元件(120，220)这样构造，使得该空气支承的元件能够与要检查的基板(140)的表面(141)一起构成空气支承，并且所述空气支承的元件(120，220)具有弹性，从而该空气支承的元件(120，220)能够匹配表面(141)的不平度，●至少一个传感器(130，230)，该传感器安装在所述空气支承的元件(120，220)上，并且该传感器设置用于检测基板(140)的表面(141)。
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