[发明专利]隔离的斜角边缘的清洗设备及方法无效
| 申请号： | 200780016056.4 | 申请日： | 2007-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN101437630A | 公开（公告）日： | 2009-05-20 |
| 发明（设计）人： | 衡石·亚历山大·尹;安德鲁·D·贝利三世;A·赖德·杰森;马克·H·维尔科克森;杰弗里·G·加斯帕里斯基;约翰逊·兰迪;史蒂芬·P·霍夫曼 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | B08B11/02 | 分类号： | B08B11/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及基板边缘的清洗设备、系统及方法，其包含硬毛刷单元，可在清洗化学品存在下，利用摩擦接触而清洗沉积在基板边缘的斜角聚合物。该硬毛刷单元由多个向外延伸的叶片组成，且位于旋转轴上。磨粒材料分布在整个硬毛刷单元的向外延伸的叶片中以提供摩擦接触。在流体如清洗化学品存在下，该多个研磨微粒与基板边缘的摩擦接触可让硬毛刷单元清洗基板边缘，而将基板边缘的斜角聚合物加以切断、撕裂以及移除。 | ||
| 搜索关键词： | 隔离 斜角 边缘 清洗 设备 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种基板边缘的清洗设备，包含：用以容纳该基板边缘的外框；硬毛刷单元，其位于该外框内，该硬毛刷单元具有多个向外延伸的叶片，该硬毛刷单元装设在旋转轴上且排列成使向外延伸的叶片在旋转时与该基板边缘相接触。
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