[发明专利]图案形成方法无效
| 申请号： | 200780016923.4 | 申请日： | 2007-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101443833A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 齐藤三长;真常泰;田岛义浩;石井浩一;细矢雅弘;高桥健 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G09F9/00 | 分类号： | G09F9/00;G02B5/20;H01J9/227;H01L21/3205;H05K3/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 冯 雅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 图案形成装置具备保持采用显影剂的图案的凹版、将显影于凹版的图案27、28、29转印到被转印介质31的转印装置和用于在转印后使电极层32消失或高电阻化的煅烧炉40。将显影于凹版的图案27、28、29转印到位于被转印介质31的对向面31a侧的电极层32上后，在煅烧炉40中加热而使电极层32消失。 | ||
| 搜索关键词： | 图案 形成 方法 | ||
【主权项】：
1. 图案形成方法，其特征在于，具备以下的工序：在像保持体上形成采用带电的显影剂的图案像的显影工序；将在与所述像保持体对向的对向面侧具有电极层的被转印介质与所述像保持体对向配置，在所述像保持体和所述电极层之间形成电场，将所述图案像转印到所述被转印介质上的转印工序；使所述电极层消失的消失工序。
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