[发明专利]电极系统和电极使用方法有效
| 申请号： | 200780016950.1 | 申请日： | 2007-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN101443878A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | W·J·博德曼;A·W·图德普;R·D·默卡多;T·B·卡瑟利 | 申请（专利权）人： | 分之一技术公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王 勇;姜 华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种电极组件包括由具有一个或者多个出口的护罩围绕的电极材料的线圈和在离开所述护罩之前沿着所述线圈的轴线X-X引导的保护气体的供应源。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 系统 使用方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于沉积工艺的电极，包括：电极材料；气体入口，用于在所述电极材料的外表面上引导保护气体；其中，所述电极材料包括具有纵向中心轴线X的金属线圈，多圈所述丝围绕所述纵向中心轴线缠绕，并且其中，所述气体出口定位为用于基本沿着所述轴线X引导所述气体。
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