[发明专利]同时具有多波长、多入射角和多方位角的光学测量系统有效
| 申请号： | 200780016961.X | 申请日： | 2007-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN101443647A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 吕彤欣;王笑寒 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种光学测量和/或检测装置，该装置在一个应用中可被用来检测半导体器件。它包括：光源，用以提供入射光线；具有内反射面的半抛物面反射器，其中，所述反射器具有焦点和概要轴；和置于焦点附近的待测器件。和反射器的对称轴平行的入射光线进入反射器后，将被导向到焦点以及从待测器件上反射离开，从而产生表示该待测器件的指示信息，然后反射光线离开该反射器。探测器阵列接收反射出来的光线，该光线可被分析以确定待测器件的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 同时 具有 波长 入射角 多方位 光学 测量 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种光学装置，包括：-光源，用以提供入射光线；-半抛物面反射器，具有反射表面和焦点，用以聚焦所述入射光线到待测器件，其中所述入射光线在所述待测器件上反射离开，并且反射光线提供指示所述待测器件的信息；-探测器阵列，用以收集从所述待测器件上反射离开的所述反射光线。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于睿励科学仪器（上海）有限公司，未经睿励科学仪器（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780016961.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于容器监控设备的测试容器和测试布置
- 下一篇：冷却储藏箱及其运转方法
