[发明专利]具有厚度模式换能器的频率扫描的兆频超声波处理设备有效

专利信息
申请号: 200780017619.1 申请日: 2007-03-18
公开(公告)号: CN101517766A 公开(公告)日: 2009-08-26
发明(设计)人: J·迈克尔·古德森 申请(专利权)人: J·迈克尔·古德森
主分类号: H01L41/08 分类号: H01L41/08;H01L41/09
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 王洪斌;王小衡
地址: 美国新*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 兆频超声波处理设备和方法具有一个或多个压电换能器,所述压电换能器在厚度模式下以至少300KHz的基本共振频率进行工作。发生器利用可变频率的驱动信号向换能器供以动力,所述可变频率的驱动信号在预定扫描频率范围内变化或扫描。所述发生器在包括所有换能器的共振频率的扫描频率范围内重复地改变或扫描所述驱动信号的频率。
搜索关键词: 具有 厚度 模式 换能器 频率 扫描 超声波 处理 设备
【主权项】:
1.一种兆频超声波处理设备,包括:一个或多个压电换能器,每个压电换能器具有至少300KHz的基本共振频率;适于容纳流体和待处理的一个或多个部件的槽,其中所述一个或多个换能器适于向所述槽及其内容物提供振动;发生器,被耦合到换能器以用于在遍及包括所有换能器的共振频率的频率范围内以可变频率提供驱动信号。
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