[发明专利]容性MEMS传感器设备

摘要

本发明涉及一种用于感应机械量的容性MEMS传感器设备。为了提供这样的能够在发生机械过载情况后迅速从(接近于)粘接状态恢复过来的容性MEMS传感器设备，提出了这样一种传感器设备包括：-第一偏压单元(V1)，用于为所述MEMS传感元件的第一极板提供第一偏置电压(V_bias1)，-第二偏压单元(V2)，用于为所述MEMS传感元件的第二极板提供第二偏置电压(V_bias2)，-信号处理单元(20)，用于处理所述电学量，产生输出信号(V_OUT)，-比较器单元(21)，用于将所述输出信号(V_OUT)同参考信号(V_ref)进行比较，以检测所述MEMS传感元件(10)的过载情况，并输出比较器信号，-控制单元(22)，用于在所述比较器信号指示过载情况时，通过在过载情况下在第一时间间隔(T1)内将所述第一极板同第一放电端子(D)相连，并在第二时间间隔(T2)内将所述第二极板同第二放电端子(D)相连的方式，控制所述MEMS传感元件(10)的放电。

主权项

1. 一种用于感应机械量的容性MEMS传感器设备，包括：-容性MEMS传感元件(10)，具有两个间距为d0的、平行放置的极板(11、14)，用于将感应到的机械量转换为电学量，所述间距d0响应于所述机械量(P)而发生改变，-第一偏压单元(V1)，用于为所述MEMS传感元件的第一极板提供第一偏置电压(Vbias1)，-第二偏压单元(V2)，用于为所述MEMS传感元件的第二极板提供第二偏置电压(Vbias2)，-信号处理单元(20)，用于处理所述电学量，产生输出信号(VOUT)，-比较器单元(21)，用于将所述输出信号(VOUT)同参考信号(Vref)进行比较，以检测所述MEMS传感元件(10)的过载情况，并输出比较器信号，-控制单元(22)，用于在所述比较器信号指示过载情况时，通过在过载情况下在第一时间间隔(T1)内将所述第一极板同第一放电端子(D)相连，并在第二时间间隔(T2)内将所述第二极板同第二放电端子(D)相连的方式，控制所述MEMS传感元件(10)的放电。