[发明专利]制造热解二氧化硅的方法有效
申请号: | 200780017975.3 | 申请日: | 2007-04-25 |
公开(公告)号: | CN101679047A | 公开(公告)日: | 2010-03-24 |
发明(设计)人: | 乔安妮·刘;乔治·P·福托;亚科夫·E·库特索夫斯基 | 申请(专利权)人: | 卡伯特公司 |
主分类号: | C01B33/18 | 分类号: | C01B33/18 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 宋 莉 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明提供一种制造热解二氧化硅的方法。所述方法包括:提供包含约80%-100%的甲基三氯硅烷的卤化硅原料;将卤化硅原料与氢气和氧气合并以形成反应物混合物;将反应物混合物从燃烧器排出;和将反应物混合物的氢气和氧气燃烧以便使卤化硅原料水解以产生热解二氧化硅。氢气(H2)以基于反应物混合物的约0.11或更低的摩尔分数存在,和/或反应物混合物离开燃烧器时的速度为约25m/s或更高。 | ||
搜索关键词: | 制造 二氧化硅 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制造热解二氧化硅的方法,包括:(a)提供包含约80%-100%的甲基三氯硅烷的卤化硅原料,(b)将所述卤化硅原料、氢气和氧气合并以形成反应物混合物,其中H2摩尔分数为约0.11或更低,和(c)将所述反应物混合物的氢气和氧气燃烧以便使所述卤化硅原料水解以产生热解二氧化硅。
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