[发明专利]用于检测和分类发弧的基于电流的方法和设备有效
| 申请号： | 200780018007.4 | 申请日： | 2007-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101473403A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 艾伦·F·克劳斯;雷蒙德·W·哈里斯;保罗·R·布达 | 申请（专利权）人： | 施耐德自动化公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 钱大勇 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供一种用于使用电源电路和发弧检测装置产生等离子体的设备和技术。电源电路具有包括被围在室中的阴极并且适于产生功率相关参数。发弧检测配置通讯地耦接到电源电路并且适于通过比较功率相关参数与之少一个阈值来估计室中的发弧的严重性。根据各种实施，响应于功率相关参数与之少一个阈值的比较测量发弧出现、发弧持续时间、严重性和/或能量。根据另一实施，上述测量的数量被累计和/或进一步处理。还提供用于当电流尖峰在阈值电平之上时检测发弧的设备和方法。该方法和设备还用于基于电压和电流信号以及每一个信号超出阈值的持续时间来分类发弧事件。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 检测 分类 基于 电流 方法 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种在物理气相沉积处理中检测和分类发弧的方法，该方法包括：监视等离子体产生设备的电源电压和电流；当所述电压下降到预定第一电压阈值之下时，检测每一实例；当所述电压下降到预定第一电压阈值之下时，计时每一实例的持续时间；当电流尖峰在预定第一电流阈值之上时，检测每一实例；当电流尖峰在预定第一电流阈值之上时，计时每一实例的持续时间；将电压下降到预定第一电压阈值之下时的每一实例及电流尖峰在预定第一电流阈值之上时的每一实例分类当作发弧事件。
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