[发明专利]沉积材料的热蒸发设备、用途和方法

摘要

用于将材料沉积在基材上的热蒸发设备，所述设备包括：材料储存装置；加热装置以在材料储存装置中产生材料蒸气；蒸气出口装置，包括具有蒸气出口通道的蒸气接收管和设置使蒸气出口装置朝向所述基材的外表面表现出低辐射的减辐射装置，和其中所述设备另外包括在所述蒸气出口装置内部的管加热装置，其中至少设置与材料蒸气接触的材料储存装置、加热装置、减辐射装置以及管加热装置的表面是耐腐蚀材料。另外，用于将材料沉积在基材上的热蒸发设备包括：设置用于在其内部接收在材料储存装置中加热的材料蒸气和具有蒸气出口通道的蒸气出口装置，其中所述蒸气出口装置基本由耐腐蚀材料构成和气密程度使所述材料蒸气可获得充足的动态压力以将所述材料均匀沉积在所述基材上。以及所述设备的用途，和通过热蒸发将材料沉积到基材上的方法。

主权项

1. 用于将材料沉积在基材上的热蒸发设备，所述设备包括：-材料储存装置，用于接收待沉积的材料，其中至少设置与材料蒸气接触的材料储存装置的表面是耐腐蚀材料的，例如但不限于以下物质的材料：石英、熔融二氧化硅、陶瓷、石墨和碳纤维强化碳(CFC)；-加热装置，用于加热材料储存装置中的材料以产生材料蒸气；-蒸气出口装置，设置用于在其内部接收在所述材料储存装置中加热后的材料蒸气，所述蒸气出口装置包括：-蒸气接收管，其具有蒸气出口通道，其中至少设置与材料蒸气接触的蒸气接收管的表面是耐腐蚀材料的，例如但不限于以下物质的材料：石英、熔融二氧化硅、陶瓷、石墨和碳纤维强化碳(CFC)，和-减辐射装置，设置用于使蒸气出口装置朝向所述基材的外表面表现出低辐射，其中至少设置与材料蒸气接触的减辐射装置的表面是耐腐蚀材料的，例如但不限于以下物质的材料：熔融二氧化硅和陶瓷，和其中所述设备另外包括：-管加热装置，设置于所述蒸气出口装置的内部，优选为沿所述蒸气接收管的纵轴延伸或与所述蒸气接收管的纵轴平行的线型管加热装置，所述管加热装置提供有与材料蒸气接触和由耐腐蚀材料形成的耐腐蚀外表面，所述耐腐蚀材料例如但不限于以下物质的材料：石英、熔融二氧化硅、陶瓷和石墨。