[发明专利]基板检查装置和基板检查方法

摘要

本发明提供一种基板检查装置，能够针对多个基板并行地实施短路检查，从而减少短路的检查次数，缩短检查时间。检查多个被检查基板的电特性的基板检查装置具有多个基板检查用夹具，它们具有多个设定在被检查基板的布线图案上的检查用探针，根据多个被检查基板的每一个进行配置；控制单元，其根据多个被检查基板的每一个，将一个布线图案的检查用探针设定为第一检查部，将一个布线图案以外的布线图案的检查用探针设定为第二检查部；切换单元，其并联连接多个第一检查部并设定为第一组，并联连接多个第二检查部并设定为第二组；电力供给单元，其使第一组和第二组间产生预定电位差；检测单元，其检测第一组和第二组间的电特性；以及判定单元，其根据该电特性判定是否存在短路。

主权项

1. 一种基板检查装置，其配置有多个具有多个布线图案的被检查基板，对该多个被检查基板的电特性进行检查，其特征在于，该基板检查装置具有：多个基板检查用夹具，它们具有多个与设定在所述被检查基板的布线图案上的预定的检查点具有电接触的检查用探针，同时根据所述多个被检查基板的每一个进行配置；控制单元，其根据多个被检查基板的每一个，从该被检查基板上的所述多个布线图案中，将与成为检查对象的一个布线图案电接触的检查用探针设定为第一检查部，将与所述成为检查对象的一个布线图案以外的布线图案电接触的检查用探针设定为第二检查部；切换单元，其根据所述控制单元的设定，并联连接所述多个第一检查部并设定为第一组，并联连接所述多个第二检查部并设定为第二组；电力供给单元，其使所述第一组和所述第二组间产生预定电位差；检测单元，其检测通过所述电力供给单元产生电位差时的所述第一组和所述第二组间的电特性；以及判定单元，其根据所述检测单元检测的电特性，判定所述多个被检查基板是否存在短路。