[发明专利]离子植入机的扫描图案有效
| 申请号： | 200780020822.4 | 申请日： | 2007-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN101461028A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 约瑟·P·迪宰桔雷斯契 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/304 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种离子植入机，包括离子束产生器，配置所述离子束产生器以产生离子束且向工件引导离子束，其中离子束与工件之间的相对运动在此工件的前表面上产生扫描图案。扫描图案在此工件的此前表面的至少一部分上具有振荡图案。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 植入 扫描 图案 | ||
【主权项】：
1、一种离子植入机，其特征在于包含：离子束产生器，配置其以产生离子束；以及扫描器，配置其以在所述离子束入射于工件的前表面的至少一部分上时使所述离子束振荡。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于瓦里安半导体设备公司，未经瓦里安半导体设备公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780020822.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多功能液下喷射式空蚀试验装置
- 下一篇：变压器
