[发明专利]光学聚焦装置无效
| 申请号： | 200780021283.6 | 申请日： | 2007-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101467026A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 吕彤欣;王笑寒 | 申请（专利权）人： | 睿励科学仪器（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55;G01N21/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 郑立柱 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种光学测量和/或检测装置，在应用中可用来检测半导体器件。它包括：光源，用于提供光线；具有内反射面的半抛物面反射器，其中，该反射器具有焦点和概要轴。一个待测器件置于该焦点附近。进入反射器的平行于所述概要轴的入射光线被导向至焦点并在该待测器件上反射离开，从而产生指示该待测器件的信息，然后，反射光线离开该反射器。探测器收集反射出来的光线并对其进行分析从而确定该待测器件的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 聚焦 装置 | ||
【主权项】：
1. 一种光学装置，包括：光源，用以提供入射光线；具有反射表面和焦点的半抛物面反射器，用于将所述入射光线聚焦到待测器件上，其中，所述入射光线在所述待测器件上反射离开，且反射光线提供指示所述待测器件的信息；探测器，用于收集从该待测器件上反射的光线。
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