[发明专利]离子束电流均匀度监控器、离子注入机以及其方法无效
| 申请号： | 200780021294.4 | 申请日： | 2007-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101467227A | 公开（公告）日： | 2009-06-24 |
| 发明（设计）人： | 威廉·G·卡拉汉;摩根·D·艾文斯;乔治·M·葛梅尔;诺曼·E·赫西;葛桔·A·洛里斯;约瑟·C·欧尔森 | 申请（专利权）人： | 瓦里安半导体设备公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿 宁 |
| 地址： | 美国麻*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本案揭示了一种离子束电流均匀度监控器、离子注入机及相关的方法。在一实施例中，所述离子束电流均匀度监控器(15)包括：离子束电流测量器，包括多数个测量装置(17)，以测量离子束(12)内多个位置的电流；以及控制器(18)，以根据所述离子束电流测量器的离子束电流测量值来维持离子束电流均匀度。 | ||
| 搜索关键词： | 离子束 电流 均匀 监控器 离子 注入 及其 方法 | ||
【主权项】：
1、一种方法，其特征在于其包括以下步骤：在离子注入之前，测量离子束内多个位置的每个位置的离子束电流；对至少一晶圆进行离子注入；在离子注入过程中，周期性地测量所述离子束内的所述多个位置的每个位置的离子束电流；以及根据所述离子束电流测量值来判断所述离子束电流是否为非均匀。
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