[发明专利]用于引入、喷射或者喷洒载气与液态化合物的混合物的装置以及实现该装置的方法有效
申请号: | 200780021800.X | 申请日: | 2007-04-18 |
公开(公告)号: | CN101466868A | 公开(公告)日: | 2009-06-24 |
发明(设计)人: | 埃尔韦·吉永;萨米埃尔·博纳福斯;让·曼努埃尔·德康斯;弗雷德里克·普瓦尼昂 | 申请(专利权)人: | 凯姆流公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455;C23C16/448;B05B7/26 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 段 斌;杨献智 |
地址: | 法国蒙*** | 国省代码: | 法国;FR |
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摘要: | 本发明涉及一种用于将载气(2)和液态化合物(3)或者液态溶液引入蒸发室(4)的装置(1),所述装置包括混合室(10)且所述混合室(10)至少包括:第一入口(8),用于供所述化合或者所述溶液(3)进入;第二入口(9),用于供载气(2)进入;以及出口(13),其连接至喷射器(14)的入口,以便将所述载气与所述化合物或者所述溶液的液滴的混合物通过喷射器(14)的单个出口周期性地喷射至蒸发室(4)中。 | ||
搜索关键词: | 用于 引入 喷射 或者 喷洒 液态 化合物 混合物 装置 以及 实现 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种用于喷射或者喷洒载气(2)与至少一种液态化合物(3)或者至少一种液态溶液的混合物的装置(1),所述至少一种液态溶液包括至少一种溶解的液态、固态或者气态化合物,所述装置包括:用于供所述化合物或者所述溶液进入的至少一个入口;以及通过喷射装置(14,14a,14b)控制所述液态化合物或者所述溶液的喷射或者周期性喷洒的控制装置(17);其中,所述用于供所述化合物或者所述溶液进入的入口构成至少一个混合室(10)的至少一个第一入口(8),所述至少一个混合室(10)包括至少一个用于供载气(2)进入的第二入口(9)和连接至所述喷射或者喷洒装置(14,14a,14b)的入口的出口(13),以便经由所述喷射或者喷洒装置(14,14a,14b)的单个出口通过喷射或者喷洒所述载气(2)与所述化合物或者所述溶液(3)的液滴的混合物进行所述喷射或者周期性喷洒。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的