[发明专利]肟磺酸酯和其作为潜伏酸的用途

摘要

式I、II或III的化合物，其中R₁例如是C₁-C₁₈烷基磺酰基、C₁-C₁₀卤代烷基磺酰基、樟脑基磺酰基、苯基-C₁-C₃烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基、菲基磺酰基或杂芳基磺酰基，R′₁例如是亚苯基二磺酰基，R₂例如是CN、C₁-C₁₀卤代烷基或被Ⅳ取代的C₁-C₁₀卤代烷基；Ar₁例如是任选被式IV的基团取代的苯基；Ar′₁例如是任选地被式IV的基团取代的亚苯基；A₁、A₂和A₃彼此独立地是例如氢、卤素、CN或C₁-C₁₈烷基；D₂例如是直接的键、O、(CO)O、(CO)S、SO₂、OSO₂或C₁-C₁₈亚烷基；或者A₃和D₂一起形成C₃-C₃₀环烯基；或者A₂和D₂，与它们所连接的烯键式不饱和双键的碳一起，形成C₃-C₃₀环烷基；D₃和D₄例如彼此独立地是直接的键、O、S、C₁-C₁₈亚烷基或C₃-C₃₀亚环烷基条件是基团R₂、Ar₁或Ar₁′中的至少一个包括式IV的基团；适合作为光潜伏酸供体并且用于制备待用于化学放大光致抗蚀剂中的相应聚合物。

主权项

1.式I、II或III的化合物(III)，其中R₁ 是C₁-C₁₈烷基磺酰基，C₁-C₁₀卤代烷基磺酰基，C₂-C₁₂链烯基磺酰基，C₂-C₁₂炔基磺酰基，C₃-C₃₀环烷基磺酰基，被一个或多个O中断的C₁-C₁₈烷基磺酰基或被一个或多个O中断的C₁-C₁₀卤代烷基磺酰基；其中基团C₁-C₁₈烷基磺酰基、C₁-C₁₀卤代烷基磺酰基、C₂-C₁₂链烯基磺酰基、C₂-C₁₂炔基磺酰基、C₃-C₃₀环烷基磺酰基、被中断的C₁-C₁₈烷基磺酰基和被中断的C₁-C₁₀卤代烷基磺酰基任选地被以下基团取代：一个或多个C₃-C₃₀环烷基、C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者被以下基团取代：NO₂、CN、Ar₂、(CO)R₇、(CO)OR′₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR′₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR′₃、OR′₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇；或者R₁是樟脑基磺酰基、苯基-C₁-C₃烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基、菲基磺酰基或者杂芳基磺酰基，其中基团樟脑基磺酰基、苯基-C₁-C₃烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基、菲基磺酰基和杂芳基磺酰基任选地被以下基团取代：一个或多个C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂间断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂间断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者被以下基团取代：卤素、NO₂、CN、Ar₂、(CO)R₇、(CO)OR′₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR′₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR′₃、OR′₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇；其中全部基团R₁任选地另外被以下基团取代：具有-O-C-键或-O-Si-键的基团，当酸作用时其断开；R′₁是亚苯基二磺酰基、亚萘基二磺酰基、二亚苯基二磺酰基或氧二亚苯基二磺酰基，其中基团亚苯基二磺酰基、亚萘基二磺酰基、、二亚苯基二磺酰基和氧二亚苯基二磺酰基任选地被以下基团取代：一个或多个C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者被以下基团取代：卤素、NO₂、CN、Ar₂、(CO)R₇、(CO)OR′₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR′₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR′₃、OR′₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇；或者R′₁是C₁-C₁₂亚烷基二磺酰基或C₁-C₁₀卤代亚烷基二磺酰基；其中全部基团R′₁任选地另外被以下基团取代：具有-O-C-键或-O-Si-键的基团，当酸作用时其断开；R₂是CN、C₁-C₁₀卤代烷基或者被NO₂、CN、Ar₂、(CO)R₇、(CO)OR₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR₃、OR₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇、OSO₂R₇和/或式IV的基团取代的C₁-C₁₀卤代烷基；Ar₁ 是苯基、联苯基、芴基、萘基、蒽基、菲基或杂芳基，其中基团苯基、联苯基、芴基、萘基、蒽基、菲基和杂芳基任选地被以下基团取代：一个或多个C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者被以下基团取代：式IV的基团、卤素、NO₂、CN、Ar₂、(CO)R₇、(CO)OR₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR₃、OR₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇；任选地取代基C₁-C₁₈烷基、C₂-C₁₂链烯基、(CO)R₇、(CO)OR₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR₃、OR₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇，经由基团C₁-C₁₈烷基、C₂-C₁₂链烯基、R₃、R₄、R₅、R₆和/或R₇，与苯基、联苯基、萘基、蒽基、菲基或杂芳基环上的其它取代基或与苯基、联苯基、萘基、蒽基、菲基或杂芳基环的碳原子之一形成5-、6-或7-元环；其中全部基团Ar₁任选地另外被以下基团取代：具有-O-C-键或-O-Si-键的基团，当酸作用时其断开；Ar′₁ 是亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基、氧二亚苯基或其中基团亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基、氧二亚苯基和任选地被以下基团取代：一个或多个C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者被以下基团取代：式IV的基团或者被以下基团取代：卤素、NO₂、CN、Ar₂、(CO)R₇、(CO)OR₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR₃、OR₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇，任选地取代基C₁-C₁₈烷基、C₂-C₁₂链烯基、(CO)R₇、(CO)OR₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR₃、OR₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇，经由基团C₁-C₁₈烷基、C₂-C₁₂链烯基、R₃、R₄、R₅、R₆和/或R₇，与亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基、或氧二亚苯基环上的其它取代基或与亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基、或氧二亚苯基环的碳原子之一形成5-、6-或7-元环；或者Ar′₁是-Ar＂₁-X₁-Y₁-X₁-Ar＂₁-；其中全部基团Ar′₁任选地另外被以下基团取代：具有-O-C-键或-O-Si-键的基团，当酸作用时其断开，Ar＂₁ 是亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基，；其中基团亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基任选地被以下基团取代：一个或多个C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基，；或者被以下基团取代：卤素、NO₂、CN、Ar₂、(CO)R₇、(CO)OR₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR₃、OR₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇，任选地取代基C₁-C₁₈烷基、C₂-C₁₂链烯基、(CO)R₇、(CO)OR₃、(CO)NR₄R₅、O(CO)R₇、O(CO)OR₃、O(CO)NR₄R₅、NR₆(CO)R₇、NR₆(CO)OR₃、OR₃、NR₄R₅、SR₆、SOR₇、SO₂R₇和/或OSO₂R₇，经由基团C₁-C₁₈烷基、C₂-C₁₂链烯基、R₃、R₄、R₅、R₆和/或R₇，与亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基环上的其它取代基或与亚苯基、亚联苯基、亚萘基、杂亚芳基环的碳原子之一形成5-、6-或7-元环；其中全部基团Ar＂₁任选地另外被以下基团取代：具有-O-C-键或-O-Si-键的基团，当酸作用时其断开；X₁ 是直接的键、O、S、NR₆、CO、O(CO)、S(CO)、NR₆(CO)、SO、SO₂或OSO₂；或者X₁是C₁-C₁₈亚烷基或亚苯基，其中这些基团是未被取代的或被一个或多个C₁-C₁₈烷基、C₁-C₄卤代烷基、卤素、OR₃和/或SR₆取代；Y₁ 是C₁-C₁₈亚烷基，其任选地被以下基团取代：OR₃、SR₆、卤素、苯基和/或式IV的基团或者Y₁是C₂-C₁₈亚烷基，其是被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的并且其任选地被以下基团取代：式IV的基团R′₃ 是氢、C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基；或者R′₃是被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者R′₃是苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基或者菲基磺酰基；其中基团苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基和菲基磺酰基任选地被以下基团取代：一个或多个Ar₂、OH、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、NR₄R₅、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基和/或苯甲酰氧基；R₃ 是C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基；其全部任选地被以下基团取代：式IV的基团或者R₃是被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者R₃是苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基或者菲基磺酰基；其中基团苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基和菲基磺酰基任选地被以下基团取代：一个或多个Ar₂、OH、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、NR₄R₅、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基、苯甲酰氧基和/或式IV的基团或者R₃是氢；R₄和R₅彼此独立地是氢、C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者R₄和R₅彼此独立地是苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基或者菲基磺酰基；其中基团苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基和菲基磺酰基任选地被以下基团取代：一个或多个Ar₂、OH、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、C₁-C₁₈烷基氨基、C₁-C₁₈二烷基氨基、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基和/或苯甲酰氧基；或者R₄和R₅，与它们所连接的氮原子一起，形成5-、6-或7-元环，其任选地是被一个或多个O、NR₈或CO中断的；R₆ 是氢、C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₈、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₈、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₈、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₈、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者R₆是苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基或者菲基磺酰基；其中基团苯基、萘基、C₂-C₁₈烷酰基、苯甲酰基、C₁-C₁₈烷基磺酰基、苯基磺酰基、萘基磺酰基、蒽基磺酰基和菲基磺酰基任选地被以下基团取代：一个或多个Ar₂、OH、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、NR₄R₅、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基和/或苯甲酰氧基；R₇ 是氢、C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基、苯基-C₁-C₃-烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂链烯基；或者R₇是苯基，或萘基，其中两者都任选地被以下基团取代：一个或多个Ar₂、OH、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、NR₄R₅、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基和/或苯甲酰氧基；R₈是C₃-C₃₀环烷基、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、C₂-C₁₂链烯基、C₄-C₃₀环烯基或苯基-C₁-C₃烷基；Ar₂是苯基、联苯基或萘基，其中基团苯基、联苯基和萘基任选地被以下基团取代：一个或多个OH、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、NR₄R₅、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基和/或苯甲酰氧基；A₁、A₂和A₃彼此独立地是氢、卤素、CN、C₁-C₁₈烷基、被OR₃取代的C₁-C₁₈烷基；或A₁、A₂和A₃彼此独立地是C₁-C₁₀卤代烷基、(CO)R₇、(CO)OR₃或(CO)NR₄R₅；D₂ 是直接的键、O、(CO)O、(CO)S、(CO)NR₆、SO₂、OSO₂、Ar′₂、C₁-C₁₈亚烷基；或者A₃和D₂，与它们所连接的烯键式不饱和双键一起，形成C₃-C₃₀环烯基，其任选地是被一个或多个O、S、N、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的；或者A₂和D₂，与它们所连接的烯键式不饱和双键的碳一起，形成C₃-C₃₀环烷基，其任选地是被一个或多个O、S、N、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的；D₃和D₄彼此独立地是直接的键、O、S、NR₆、CO、O(CO)、(CO)O、(CO)S、(CO)NR₆、SO、SO₂、OSO₂、Ar′₂、C₁-C₁₈亚烷基、C₃-C₃₀亚环烷基、C₂-C₁₂亚链烯基、C₄-C₃₀亚环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₈亚烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₃-C₃₀亚环烷基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₄-C₃₀亚环烯基、被一个或多个O、S、NR₆、CO、SO和/或SO₂中断的C₂-C₁₂亚链烯基；其中基团C₁-C₁₈亚烷基、C₃-C₃₀亚环烷基、C₂-C₁₂亚链烯基、C₄-C₃₀亚环烯基、被中断的C₂-C₁₈亚烷基、被中断的C₃-C₃₀亚环烷基、被中断的C₄-C₃₀亚环烯基和被中断的C₂-C₁₂亚链烯基任选地被以下基团取代：一个或多个Ar₂、OH、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、NR₄R₅、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基和/或苯甲酰氧基；其中全部基团D₃和D₄任选地另外被以下基团取代：具有-O-C-键或-O-Si-键的基团，当酸作用时其断开；Ar′₂是亚苯基、亚联苯基、亚萘基或杂亚芳基；其中基团亚苯基、亚联苯基、亚萘基和杂亚芳基任选地被以下基团取代：一个或多个OH、C₁-C₁₈烷基、C₁-C₁₀卤代烷基、卤素、NO₂、CN、C₁-C₁₈烷氧基、苯氧基、NR₄R₅、C₁-C₁₂烷基硫基、C₁-C₁₈烷基磺酰氧基、苯基磺酰氧基、(4-甲基苯基)磺酰氧基、C₂-C₁₈烷酰氧基和/或苯甲酰氧基；R_2a 具有为R₂所给出的含义之一；条件是基团R₂、R₃、Ar₁或Ar₁′中的至少一个包括式IV的基团。