[发明专利]用于运送基板的方法与设备

摘要

本发明涉及一种用于待处理基板的基板支撑及运送系统。该基板支撑系统包含用于在垂直方向支撑该基板的输送机构。该输送机构包含可移动基底及非接触式支撑臂，该可移动基底用于支撑该基板的底部边缘，该支撑臂对于该基板的一侧提供支撑。该基板支撑系统包含配置于该可移动基底上的壳罩，且该壳罩实质上可围住该基板及该非接触式支撑臂。该基板支撑及运送系统包含供气源，该供气源从该基板的顶缘朝向该基底提供送气。本发明还涉及一种运送基板的方法。

主权项

1.一种用于待处理基板的基板支撑及运送系统，包含：输送机构，用于在实质上垂直的方向支撑所述基板，所述输送机构包含可移动基底及支撑臂，当所述基板移动时，所述可移动基底用于支撑所述基板的底部边缘，所述支撑臂对所述基板的一侧提供支撑；壳罩，其配置于所述可移动基底上，且实质上上将所述基板及所述支撑臂围住；以及供气源，其在所述壳罩所界定的区域内提供洁净的环境。