[发明专利]相对高试验压力下大泄漏处痕量气体泄漏检测系统和方法有效
| 申请号： | 200780023392.1 | 申请日： | 2007-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN101473208A | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | C·帕金斯;P·帕勒斯特恩 | 申请（专利权）人： | 凡利安股份有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20;G01N33/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 刘 佳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供相对高试验压力下大泄漏处的痕量气体泄漏检测仪和痕量气体泄漏检测方法。痕量气体泄漏检测仪包括：试验端口，该试验端口用于接纳含有痕量气体的取样，该试验端口连接到试验管道；质谱仪，该质谱仪用于检测痕量气体；高真空泵，该高真空泵具有联接到质谱仪的入口的入口端口；以及前级泵，该前级泵具有主入口、至少一个中间入口、以及排出口。前级泵的主入口联接到高真空泵的排出端口。中间入口可控制地连接到试验管道。前级泵选自以下：涡旋真空泵和螺杆真空泵。 | ||
| 搜索关键词： | 相对 试验 压力 泄漏 痕量 气体 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种痕量气体泄漏检测仪，包括：试验端口，所述试验端口用于接纳含有痕量气体的取样，所述试验端口连接到试验管道；质谱仪，所述质谱仪用于检测所述痕量气体，所述质谱仪具有入口；高真空泵，所述高真空泵具有联接到所述质谱仪的所述入口的入口端口，所述高真空泵具有排出端口；以及前级泵，所述前级泵具有主入口、至少一个中间入口、以及排出口，所述主入口联接到所述高真空泵的所述排出端口，所述中间入口可控制地连接到所述试验管道，所述前级泵是这样类型的泵：其允许所述中间入口的位置在所述主入口和所述排出口之间的位置的范围内。
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