[发明专利]真空用闸阀及其使用的密封部件

摘要

一种真空用闸阀及其使用的密封部件，即使在密封部件安装槽的开放侧部分的粘结剂剥离的状态下反复压缩密封部件，也能防止因应力集中而在密封部件产生龟裂或产生颗粒，并能抑制因密封顶部与密封面彼此摩擦而产生颗粒。真空用闸阀的特征在于，密封部件的截面形状呈具有顶点T的大致山形，相对于该顶点T在密封部件安装槽(23)的宽度方向外侧具有外侧倾斜面(24d)，相对于顶点T在密封部件安装槽(23)的宽度方向内侧具有内侧倾斜面(24e)，在将外侧倾斜面(24d)的倾斜角设为θ1、将内侧倾斜面(24e)的倾斜角设为θ2、将密封部件安装槽(23)的底面宽度设为S时，顶点T的位置位于比S/2更靠密封部件安装槽(23)的内侧的位置，且θ1＞θ2。

主权项

1. 一种真空用闸阀，具有：板本体，该板本体的密封部件安装槽的外侧端形成为开放；以及密封部件，该密封部件利用弹性部件形成为环状并安装在所述板本体的所述密封部件安装槽内，其特征在于，所述密封部件的截面形状呈具有顶点T的大致山形，相对于该顶点T在所述密封部件安装槽的宽度方向外侧具有外侧倾斜面，相对于所述顶点T在所述密封部件安装槽的宽度方向内侧具有内侧倾斜面，在将所述外侧倾斜面的倾斜角设为θ1、将所述内侧倾斜面的倾斜角设为θ2、并将所述密封部件安装槽的底面宽度设为S时，所述顶点T的位置位于比S/2更靠所述密封部件安装槽的内侧的位置，且θ1>θ2。