[发明专利]缺陷检测装置和缺陷检测方法有效
| 申请号： | 200780026859.8 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101490538A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 远藤一正;持田大作;吉川透;柴田浩匡;河井章利 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01B11/30;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 车 文;张建涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种缺陷检查装置检查具有形成在表面上的图案的样品的缺陷。该缺陷检查装置设有：平台(11)，样品(10)放置在该平台上，并且该平台可线性移动和旋转；光源(1)；照明光学系统，其选择来自光源的任意的波长带并通过偏振器(7)和物镜(9)来落射照明样品表面；检测光学系统，其通过使由照明光学系统所应用的来自样品的表面的反射光通过物镜(9)和检偏器(12)来得到光瞳像，所述检偏器(12)与所述偏振器满足正交尼科尔条件；以及检测单元，其通过将所得到的光瞳像与预先存储的光瞳像相比较来检测样品的缺陷。在短时间内能判断被检查衬底上的图案的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种缺陷检查装置，所述缺陷检查装置检查样品中的缺陷，在样品表面中形成有图案，所述缺陷检查装置包括：平台，所述样品放置在所述平台上；光源；照明光学系统，用于利用从所述光源发射并透过偏振器和物镜的光来落射照明所述样品表面；检测光学系统，所述检测光学系统对利用从所述样品表面反射并透过所述物镜和检偏器的照明光而形成的所述物镜的光瞳像进行检测，所述检偏器与所述偏振器一起满足正交尼科尔条件；和检测单元，所述检测单元将所得到的光瞳像与预先存储的光瞳像相比较以检测所述样品中的缺陷。
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