[发明专利]光导波路用干膜及使用该干膜的光导波路的制造方法有效
申请号: | 200780026875.7 | 申请日: | 2007-07-18 |
公开(公告)号: | CN101490590A | 公开(公告)日: | 2009-07-22 |
发明(设计)人: | 江利山祐一 | 申请(专利权)人: | JSR股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/13 | 分类号: | G02B6/13;G02B6/12;B32B7/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 左嘉勋;刘继富 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供可以使芯部周边的包覆层的厚度为一定的光导波路的制造方法。一种光导波路的制造方法,其特征在于,通过如下方法形成第一层叠膜:在第一基材膜上形成包覆形成用第一固化性树脂层,通过使其固化形成包覆层,在该包覆层上形成固化后的折射率比包覆层高的芯形成用第二固化性树脂层,通过选择性地使其固化而形成芯部。通过如下方法形成第二层叠膜:在第二基材膜上形成包覆形成用第三固化性树脂层,通过使其固化形成包覆层。将形成有芯部的第一层叠膜和第二层叠膜介由包覆形成用第四固化性树脂层贴合,使第一层叠膜和第二层叠膜所夹持的固化性树脂层固化,从而制成包覆层。 | ||
搜索关键词: | 导波 路用干膜 使用 制造 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种光导波路用干膜,其特征在于,具有:基材膜、在所述基材膜上形成的包覆层、以及在所述包覆层上形成的未固化的芯部形成用组合物层。
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