[发明专利]氧化锌系透明导体及该透明导体形成用溅射靶以及该溅射靶的制造方法

摘要

本发明提供一种氧化锌系透明导体，其特征在于，以氧化锌(ZnO)为主成分，含有相对于氧化锌成为n型掺杂剂的元素，并且含有相对于所有金属原子为0.05～2.0原子％的表示与氧化锌的润湿性的参数P为6以下、电阻率小于添加了n型掺杂剂的氧化锌的电阻率的金属，其中，P＝(G+Hmix)/RT，G：温度T下金属的吉布斯自由能，Hmix：温度T下氧化锌与金属的混合焓，R：气体常数，T：温度。本发明的目的在于，在不含有昂贵且存在资源枯竭可能的原料In的透明导体的开发中，超越单掺法这种以往的开发技术的极限，给出对低电阻率化有效的第2添加材料的选择方针以及具体的材料种类和优选的浓度范围，并提供低电阻率透明导体。

主权项

1. 一种氧化锌系透明导体，其特征在于，以氧化锌(ZnO)为主成分，含有相对于氧化锌成为n型掺杂剂的元素，并含有表示与氧化锌的润湿性的参数P在6以下、且具有比添加了n型掺杂剂的氧化锌的电阻率小的电阻率的金属M，并且相对于作为构成氧化锌系透明导体的所有金属原子的锌、n型掺杂剂和金属M的总原子数，金属M的浓度为0.05～2.0原子％，其中，P＝(ΔG0+ΔHx(M))/RT，ΔG0：金属M与氧化锌的氧化还原反应的标准自由能变，ΔHx(M)：构成氧化锌的金属元素锌提供给金属M的熔化焓，R：气体常数，T：温度。