[发明专利]三氯硅烷制造装置有效
| 申请号： | 200780027354.3 | 申请日： | 2007-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN101489931A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 石井敏由记;伊藤秀男;清水祐司 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种三氯硅烷制造装置，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将反应容器的内部加热；收纳容器，收纳反应容器及加热机构；气体供给内筒，将供给气体供给到反应容器内；气体排气外筒，大致同轴地配设在气体供给内筒的外侧，在气体供给内筒的外周面与自己的内周面之间形成有反应生成气体的排气流路；冷却筒，通过内侧支承气体排气外筒，在内部形成有使冷媒流通的冷媒路径。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 制造 装置 | ||
【主权项】：
1、一种三氯硅烷制造装置，其特征在于，具备：反应容器，在内部被供给包括四氯化硅和氢的供给气体，生成包括三氯硅烷与氯化氢的反应生成气体；加热机构，将上述反应容器的内部加热；收纳容器，收纳上述反应容器及上述加热机构；气体供给内筒，将上述供给气体供给到上述反应容器内；气体排气外筒，大致同轴地配设在上述气体供给内筒的外侧，在上述气体供给内筒的外周面与自己的内周面之间形成有上述反应生成气体的排气流路；冷却筒，通过内侧支承上述气体排气外筒，在内部形成有使冷媒流通的冷媒路径。
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