[发明专利]处理零件表面的系统和方法无效
| 申请号： | 200780027610.9 | 申请日： | 2007-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN101541435A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | W·J·博德曼;A·W·图德普;R·D·默卡多;T·B·卡瑟利;F·孔特雷拉斯 | 申请（专利权）人： | 分之一技术公司 |
| 主分类号： | B05B5/025 | 分类号： | B05B5/025 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡民军;马立荣 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 用于涂覆工件(12)的表面的系统(10)包括用于连接到所述工件(12)和阳极(76)的偏压系统(242)从而以使工件相对于阳极负偏压，还包括用于抽空工件(12)内部的真空源(42，44)。气体供应装置(224，226，228)被用来将包含处理材料的气体引入到所述工件，并且控制系统(244)控制偏压系统(242)、真空源(42，44)和气体供应装置(224，226，228)从而以在工件内建立空心阴极效应。一对联接头(16，18)被支承在三个轴线中一个或多个轴上可运动的铰接臂(22，24，26)上，并且包括保护所述头(16，18)的可移除的护罩(78)和用于容纳阳极(76)的阳极安装架(74)。铰接臂允许系统适用于多种不同形状和不同尺寸的工件而护罩在沉积过程中保护联接头。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 零件 表面 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种处理工件的系统，包括：偏压系统，用于联接到工件和阳极之间，从而以使工件相对于阳极负偏压；真空源，用于抽空工件的内部；气体供应装置，用于将包含处理材料的气体引入到所述工件；控制系统，用于控制偏压系统，真空源和气体供应装置；和联接头，包括：壳体，具有用于从所述气体供应装置接收气体的入口和用于与要被处理的工件相连接的出口；和可移除的护罩，至少部分地遮护住壳体，使壳体与被引入的气体隔开。
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