[发明专利]音片型振子以及使用了该音片型振子的振动陀螺仪有效
| 申请号： | 200780027770.3 | 申请日： | 2007-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN101495836A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 藤本克己;小池雅人 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | G01C19/56 | 分类号： | G01C19/56;G01P9/04;H01L41/08;H01L41/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种小型的、能够小尺寸化的、能够作为检测灵敏度良好的振动陀螺仪来使用的音片型振子，和使用了该音片型振子的振动陀螺仪。在基板(12)上所形成的音片型振子(10)包括振动体(14)。振动体(14)在整体上形成为蜿蜒状，中央部的振动片作为第一检测部(62)来使用。在振动体(14)的一侧形成驱动电极(16、18)，连接到引出电极(26、28)。第一检测部(62)的一个主面上形成检测电极(20)和公共电极(22)。振动体(14)的另一个主面上形成公共电极(22)，通过通孔(24)连接到一个主面上的公共电极(22)。检测电极(20)和公共电极(22)连接到引出电极(30、32)。 | ||
| 搜索关键词： | 音片型振子 以及 使用 振动 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1、一种音片型振子，包括：具有一个主面以及另一个主面的蜿蜒形状的振动体；形成为从所述振动体的一个主面的纵长方向一端侧向中央部延伸，并且在所述振动体的宽度方向上分割而成的两个驱动电极；检测电极，形成为从所述振动体的一个主面的纵长方向另一端侧向中央部延伸；金属膜，形成在所述振动体的另一个主面上；和支撑部，形成在成为所述振动体弯曲振动时的节点的部分，用于中空地支撑所述振动体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社村田制作所，未经株式会社村田制作所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200780027770.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：模块化且可重构的多级微反应器试剂盒设备
- 下一篇：自动制冰机及其运转方法
