[发明专利]正型感光性树脂组合物

摘要

本发明提供了具有优异感光度和分辨率的正型感光性树脂组合物。所述树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份的(A)具有下述通式(1)表示的重复单元的羟基聚酰胺，包含1～50质量份的(B)光产酸剂，5～20质量份的(C)下述通式(2)表示的碳原子数6～18的羧酸化合物和0.01～70质量份的(D)下述通式(3)表示的碳原子数4～14的醇。

主权项

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份的(A)具有下述通式(1)表示的重复单元的羟基聚酰胺，包含1～50质量份的(B)光产酸剂，5～20质量份的(C)下述通式(2)表示的碳原子数6～18的羧酸化合物和0.01～70质量份的(D)下述通式(3)表示的碳原子数4～14的醇。[化学式1](式中，X₁是具有至少2个以上碳原子的四价有机基团，X₂、Y₁和Y₂各自独立地是具有至少2个以上碳原子的二价有机基团，m是2～1000的整数，n是0～500的整数，m/(m+n)＞0.5；另外，包含X₁和Y₁的m个二羟基二酰胺单元以及包含X₂和Y₂的n个二酰胺单元的排列顺序没有限制。)[化学式2](式中，R₁是具有5～17个碳原子的一价有机基团。)[化学式3](式中，R₂是具有4～14个碳原子的一价或二价的有机基团，另外p是1～2的整数。)