[发明专利]液体气溶胶颗粒去除方法无效
| 申请号： | 200780028224.1 | 申请日： | 2007-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN101495248A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | J·W·巴特鲍;T·A·加斯特 | 申请（专利权）人： | FSI国际公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;H01L21/00;B05B7/08 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 陈季壮 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 通过包括以下步骤的方法从基材(13)的表面上除去颗粒：使包含水和表面活性化合物的液体气溶胶液滴在足以从该表面上除去颗粒的力下接触该表面。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 气溶胶 颗粒 去除 方法 | ||
【主权项】：
1.从基材表面除去颗粒的方法，包括使包含水和表面活性化合物的液体气溶胶液滴在足以从该表面上除去颗粒的力下接触该表面。
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