[发明专利]多晶硅的制备方法及多晶硅的制备设备无效
| 申请号： | 200780028580.3 | 申请日： | 2007-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN101495408A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 手计晶之 | 申请（专利权）人： | 三菱麻铁里亚尔株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉兰;孙秀武 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供多晶硅的制备方法，其特征在于包括：使三氯硅烷与氢气反应生成硅和流出物的步骤，其中，所述流出物包括含有四氯化硅的甲硅烷类(式SiHnCl4-n：n＝0～4)和至少含有丙硅烷类或丁硅烷类的聚合物；通过将上述流出物与氢气供给到转化反应器2中、并在600～1400℃的范围加热，使四氯化硅反应转化为三氯硅烷、并使聚合物反应转化为甲硅烷类的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 制备 方法 设备 | ||
【主权项】：
1.多晶硅的制备方法，其特征在于，该制备方法包括下述步骤：使三氯硅烷与氢气反应生成硅和流出物的步骤，其中，所述流出物包括含有四氯化硅的甲硅烷类(式SiHnCl4-n：n＝0～4)、和至少含有丙硅烷类或丁硅烷类的聚合物；通过将上述流出物与氢气供给到转化反应器中、并在600～1400℃的范围加热，使所述四氯化硅反应转化为三氯硅烷、并使所述聚合物反应转化为甲硅烷类的步骤。
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