[发明专利]表面修饰用方法和设备有效
| 申请号： | 200780029033.7 | 申请日： | 2007-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101501813A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 安娜·安德烈亚娜·希利克;阿列克谢·赛尔吉耶维奇·米哈伊洛夫;赛尔古耶·米哈伊洛夫 | 申请（专利权）人： | 科里普瑟维斯赛尔公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C14/22;B23B51/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 本发明涉及以基于碳的耐磨层被覆基体的方法，所述方法包括下述步骤：i)提供包含对碳具有亲和性的材料的基体，ii)清理基体表面，iii)在所述表面上沉积含有金属的层，iv)离子轰击经被覆的表面，v)在所述表面上沉积碳层。此外，本发明还涉及在其表面上具有类金刚石碳被覆层的基体，和用于实施本发明的方法的设备。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 修饰 方法 设备 | ||
【主权项】：
1. 一种以类金刚石层被覆基体的设备，所述设备包括多个装置，即：i)金属过滤电弧离子源ii)碳离子脉冲式过滤电弧源，或者激光烧蚀碳源iii)低能离子枪iv)红外加热装置v)冷却装置其中，每个单独的装置都被布置在一个单独的真空室中，或者被逐一串联布置在独立的真空室中。
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