[发明专利]圆盘状基板的检查装置和检查方法

摘要

可以对半导体晶片等圆盘状基板的表面上形成的处理区域进行精度更高的检查的检查装置和检查方法。采用具有如下单元的结构：摄影单元(130a)、(130b)，其拍摄旋转的晶片的外缘及其附近区域；基板外缘位置测量单元(200)，其根据由摄影单元(130a)、(130b)获得的图像来测量晶片的多个旋转角度位置θn各处的外缘的径向位置；边缘间距离测量单元(200)，其根据由摄影单元(130a)获得的图像来测量所述多个旋转角度位置θn各处的、晶片的外缘与绝缘膜的边缘之间的边缘间距离B_θn；以及检查信息生成单元(200)，其根据晶片的外缘的径向位置A_θn和边缘间距离B_θn来生成规定的检查信息。

主权项

1. 一种圆盘状基板的检查装置，所述圆盘状基板在表面上形成有处理区域，其特征在于，该检查装置具有：保持部，其能够以规定的旋转轴为中心旋转，保持所述圆盘状基板；旋转驱动部，其使所述保持部以所述旋转轴为中心旋转；摄影单元，其拍摄通过所述保持部的旋转而旋转的所述圆盘状基板的外缘及其附近区域；基板外缘位置测量单元，其测量通过所述保持部的旋转而旋转的所述圆盘状基板的多个旋转角度位置各处的该圆盘状基板的外缘的径向位置；边缘间距离测量单元，其根据由所述摄影单元获得的图像来测量所述多个旋转角度位置各处的、所述圆盘状基板的外缘与所述处理区域的边缘之间的边缘间距离；以及检查信息生成单元，其根据由所述基板外缘位置测量单元获得的所述圆盘状基板的所述多个旋转角度位置各处的外缘的径向位置、以及由所述边缘间距离测量单元获得的所述多个旋转角度位置各处的边缘间距离，来生成规定的检查信息。