[发明专利]制备结构化隔离衬片的方法无效
| 申请号： | 200780032801.4 | 申请日： | 2007-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101511592A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 弗兰克·T·谢尔;戴维·J·亚鲁索;迈克尔·R·凯斯蒂 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | B32B37/02 | 分类号： | B32B37/02;B32B33/00 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁业平;戚秋鹏 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本文公开了制备结构化隔离衬片的方法。所述方法包括提供基部；提供起垄性材料；将所述起垄性材料涂覆到所述基部上；使用具有轮廓的涂覆棒使所述起垄性材料形成至少一个脊；以及硬化所述起垄性材料。将所述起垄性材料涂覆到所述基部和使用涂覆棒使所述起垄性材料形成所述至少一个脊可以同时进行。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 结构 隔离 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种制备结构化隔离衬片的方法，所述方法包括：提供基部；提供起垄性材料；将所述起垄性材料涂覆到所述基部上；使用具有轮廓的涂覆棒使所述起垄性材料形成至少一个脊；以及硬化所述起垄性材料。
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