[发明专利]真空蒸气处理装置有效
| 申请号： | 200780033699.X | 申请日： | 2007-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101512036A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 永田浩;中村久三;加藤丈夫;中塚笃;向江一郎;伊藤正美;吉良良;新垣良宪 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01F1/053;H01F1/08;H01F41/02 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空蒸气处理装置，其适于实施在处理室内形成金属蒸气气氛、该金属蒸气气氛中的金属附着到被处理物的表面，并且使附着到被处理物表面的金属原子扩散到其晶界内的处理。其具有处理炉11，设置在该处理炉内的至少一个处理箱，以及设置在处理炉内围绕该处理箱周围的加热手段2。当在处理箱内配置了被处理物S与金属蒸发材料V的状态下将其收容到处理炉中后，设置将处理炉和处理箱减压到规定压力并保持的真空排气手段，在减压状态下使加热手段动作，将被处理物加热到规定温度的过程中，一边升温一边使金属蒸发材料蒸发，并将该蒸发的金属原子提供到被处理物表面。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸气 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种真空蒸气处理装置，其特征在于，具有下述构成：配置有处理炉、配置在该处理炉内的至少一个处理箱、以及加热该处理箱的加热手段；设有真空排气手段，其在处理箱内配置了被处理物和金属蒸发材料的状态下，把处理炉及处理箱减压到规定压力；通过在减压条件下使加热手段动作把被处理物升温到规定温度后使金属蒸发材料蒸发，并将该蒸发的金属原子提供到被处理物表面。
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