[发明专利]熔融石英玻璃及其制造方法有效
| 申请号： | 200780033716.X | 申请日： | 2007-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN101511744A | 公开（公告）日： | 2009-08-19 |
| 发明（设计）人： | 新井一喜;高畑努;桥本真吉;内田雅人;山田修辅;原田美德;堀越秀春 | 申请（专利权）人： | 东曹株式会社;东曹SGM株式会社 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种熔融石英玻璃，其对于波长245nm的紫外光，在10mm厚度内的内透过率为95％以上，OH含量为5ppm以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。优选该熔融石英玻璃在1215℃下的粘度系数为1011.5Pa·s以上，另外，1050℃下在大气中放置24小时的、在距表面的深度超过20μm起至100μm的区域中的Cu离子的扩散系数为1×10-10cm2/秒以下。该熔融石英玻璃通过将原料硅石粉末方英石化后在非还原性气氛中熔融而制造。该熔融石英玻璃具有紫外线、可见光、红外线的透射率高、高纯度且耐热性高以及金属杂质的扩散速度小的特性，适合作为各种光学材料、半导体制造用部件、液晶制造用部件等。 | ||
| 搜索关键词： | 熔融 石英玻璃 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种熔融石英玻璃，其特征在于，对于波长245nm的紫外光，10mm厚度时的内透过率为95％以上，且OH含量为5ppm以下，Li、Na、K、Mg、Ca、Cu的含量各自为不足0.1ppm。
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