[发明专利]真空蒸气处理装置有效
| 申请号： | 200780033905.7 | 申请日： | 2007-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101517120A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 永田浩;新垣良宪 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;H01F41/02 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人： | 齐永红 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种真空蒸气处理装置，其可调节蒸发的金属原子在被处理物上的供给量且结构简单。其配置有：真空容器12，其可保持规定压力；处理容器2以及蒸发容器3，其在该真空容器内隔离设置并彼此连通；加热手段6a、6b，其在把被处理物配置在该处理容器2中的同时，把金属蒸发材料V配置在蒸发容器内，可在该状态下加热处理容器及蒸发容器。并采用以下构成：通过加热手段把处理容器及蒸发容器分别加热，使被处理物升温到规定温度的同时，使金属蒸发材料蒸发，把该蒸发的金属原子提供给处理容器内的被处理物表面。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 蒸气 处理 装置 | ||
【主权项】：
1、一种真空蒸气处理装置，其特征在于，配置有：真空容器，其可保持规定压力；处理容器以及蒸发容器，其在该真空容器内隔离设置并彼此连通；加热手段，其在把被处理物配置在该处理容器中的同时，把金属蒸发材料配置在蒸发容器内，可在该状态下加热处理容器及蒸发容器，并采用以下构成：通过所述加热手段把处理容器及蒸发容器分别加热，使被处理物升温到规定温度的同时，使金属蒸发材料蒸发，把该蒸发的金属原子提供给处理容器内的被处理物表面。
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