[发明专利]基板检查装置无效
| 申请号： | 200780034920.3 | 申请日： | 2007-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101517400A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 城崎修哉 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/89 | 分类号： | G01N21/89;G01N21/958 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供即使基板大型化也能够通过车辆方便地进行运输并在运输目的地简单地进行组装、并且能够降低运费的基板检查装置。该基板检查装置具有：检查单元，其在检查基座上一体地组装有：对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使基板浮起固定高度的检查用浮台部；以及传送单元，其以能够装卸的方式组装在机架的脚部与检查用浮台部之间的检查基座上，沿着传送基板的传送路径的一侧边缘，相对于检查单元配置成T字形，保持基板使其沿传送方向移动，在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输传送单元和检查单元。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有：检查单元，其在检查基座上一体地组装有：对与基板传送方向垂直的检查线进行检查的检查头、支撑该检查头的机架、以及使所述基板浮起一定高度的检查用浮台部；以及传送单元，其以能够装卸的方式安装在所述机架的脚部与所述检查用浮台部之间的所述检查基座上，沿着传送所述基板的传送路径的一侧边缘，相对于所述检查单元配置成T字形，保持所述基板使其沿所述传送方向移动，在通过车辆进行运输时，能够以单元为单位来分解并运输所述传送单元和所述检查单元。
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